爐管原理 | 電子資訊達人
,A-400是模組化爐管,設計為處理矽晶片,如半導體元件製造的一部份。A-400結構由下列組成:.‧Work-In-Progress(WIP)station.‧Robotsection.,本專題所進行的是熱蒸鍍機與高溫爐管的實習,除了對機台的製程.原理了解外,也對機台操作流程有完整的學習,包括仔細的紀錄下每.一個步驟與操作。,二、爐管個別原理及作用.‧乾式氧化法長出的Oxide具較佳氧化層電性,且所需厚度不厚時,都可.用乾式氧化來製作。如GateOxide及PadOxide(300Å)。Si+O2→SiO2 ...,垂直式爐管.製程反應室.晶圓.塔架.加熱器.支撐與旋.轉系統.•乾氧化,薄氧化層.–閘極...
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水平爐管個別原理 | 電子資訊達人
垂直爐管技術資料 | 電子資訊達人
A-400 是模組化爐管,設計為處理矽晶片,如半導體元件製造的一部份。 A-400 結構由下列組成:. ‧Work-In-Progress(WIP)station. ‧Robot section. Read More
熱蒸鍍機與高溫爐管之製程與設備技術初步實務 | 電子資訊達人
本專題所進行的是熱蒸鍍機與高溫爐管的實習,除了對機台的製程. 原理了解外,也對機台操作流程有完整的學習,包括仔細的紀錄下每. 一個步驟與操作。 Read More
高溫及低壓水平爐管~ 基本操作手冊 | 電子資訊達人
二、爐管個別原理及作用. ‧ 乾式氧化法長出的Oxide 具較佳氧化層電性,且所需厚度不厚時,都可. 用乾式氧化來製作。如Gate Oxide及Pad Oxide(300Å )。 Si +O2 → SiO2 ... Read More
第五章熱製程 | 電子資訊達人
垂直式爐管. 製程反應室. 晶圓. 塔架. 加熱器. 支撐與旋. 轉系統. • 乾氧化, 薄氧化層. – 閘極氧化層; 屏蔽氧化層. • 濕氧化, 厚氧化層. – 場氧化層(field oxide; ... Read More
工學院半導體材料與製程設備學程碩士論文 | 電子資訊達人
常壓(Atmospheric Pressure, AP)爐管:又稱常壓化學氣相沉積爐. 管,又稱氧化爐管,為常壓狀態下通入O2、N2O、H2等氣體遂行所需之. 製程。內墊氧化矽層即是由此製程技術 ... Read More
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